特許
J-GLOBAL ID：200903059451314769
測定機の校正方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-168194
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329402
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 ワークの表面粗さや輪郭形状を求める測定機において、アーム長さ、触針高さ及び触針先端の半径を、容易に短時間に校正できる方法及びその装置を提供する。【解決手段】 触針の検出方向(Z方向)の軸に対称な形状のマスター形状部を有する基準ゲージを触針でトレースして測定データを求めると、測定データからマスター形状部の計算形状値が算出されるとともに、計算形状値のX方向左右の差が小さくなるように触針高さが仮校正され、計算形状値のZ方向上下の差が小さくなるようにアーム長さが仮校正され、さらに、基準ゲージの基準高さが測定データから算出されてアーム長さが校正され、再度、計算形状値のX方向左右の差が小さくなるように触針高さが校正される。また、その後にマスター形状部の既知形状値と計算形状値との差から触針先端の半径が校正される。
請求項（抜粋）：
X方向移動自在に設けられた検出器と、その検出器に設けられた支点にXZ面内に揺動自在に支持された触針とが備えられ、前記触針でワークの表面をトレースしたときの前記検出器のX方向移動量及び前記触針のZ方向変化量から、ワークの表面粗さや輪郭形状を求める測定機において、Z方向の軸に対称で形状値既知のマスター形状部を有するとともに、高さ基準部を有し、その高さ基準部から前記マスター形状部の頂点までのZ方向距離である基準高さが既知の基準ゲージを備え、前記支点からの前記触針先端のZ方向距離である触針高さの設計値、前記支点からの前記触針先端のX方向距離であるアーム長さの設計値及び前記触針の先端半径の設計値を入力し、前記基準ゲージの前記マスター形状部及び前記高さ基準部を前記触針でトレースして測定データを求め、前記測定データから前記マスター形状部の計算形状値を算出し、前記計算形状値の頂点を境とするX方向左右の差を算出するとともに、その差が小さくなるように前記触針高さを仮校正し、前記計算形状値のZ方向上下の差を算出するとともに、その差が小さくなるように前記アーム長さを仮校正し、前記高さ基準部から前記計算形状値の頂点までのZ方向距離である計算基準高さを前記測定データから算出し、前記計算基準高さを用いて前記アーム長さを校正し、前記計算形状値の頂点を境とするX方向左右の差を算出するとともに、その差が小さくなるように前記触針高さを校正することを特徴とする測定機の校正方法。
IPC (4件)：
G01B 5/00
, G01B 5/28
, G01B 7/34 102
, G01B 21/20
G01B 5/00 P
, G01B 5/28
, G01B 7/34 102 B
, G01B 21/20 P
