走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-135318
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332711
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【目的】試料の情報を正確に得られるSTMとSFMの機能を兼ね備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】装置は、試料12を三次元方向に走査可能に支持するXYZ駆動圧電体14と、導電性の探針16を自由端部に持ち探針16の受ける力に応じて変位するカンチレバー18を備えている。また、探針16の変位を検出する探針変位検出回路20と、探針試料間に流れるトンネル電流を検出するトンネル電流検出回路22をと備えている。探針変位検出回路20とトンネル電流検出回路22の出力を選択する信号選択回路24と、信号選択回路24で選択した信号を所定の基準値に保つようにXYZ駆動圧電体14を制御するZサーボ制御回路を備えている。さらに、XY走査やデータ処理等を行なうマイコン46と、測定結果を表示するホストコンピューター48を備えている。

請求項（抜粋）：

試料の表面に沿って探針を走査して試料を調べる走査型プローブ顕微鏡であって、導電性の探針を自由端部に有するカンチレバーであって、探針と試料の間に力が発生し得るように探針を試料に近づけて支持し、探針の受けた力に応じて弾性変形するカンチレバーと、カンチレバーの弾性変形により生じる探針の変位を検出する変位検出手段であって、その変位に対応した変位信号を出力する変位検出手段と、探針と試料の間にトンネル電流が流れるように探針と試料の間にバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加手段と、探針と試料の間に流れるトンネル電流を検出するトンネル電流検出手段であって、これに対応したトンネル電流信号を出力するトンネル電流検出手段と、探針を試料の表面に沿って走査する走査手段と、トンネル電流信号を一定値に保つように探針先端と試料表面の間隔をサーボ制御する第一のサーボ手段と、変位信号を所定の基準値に保つように探針先端と試料表面の間隔をサーボ制御する第二のサーボ手段と、探針と試料の間にトンネル電流が流れているときに、変位検出手段から出力される変位信号に基づいて基準値を設定する手段と、走査手段と第一のサーボ手段と第二のサーボ手段からの情報を処理する手段とを備えている走査型プローブ顕微鏡。

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