特許
J-GLOBAL ID:200903059472988174

ラム波型弾性波素子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-079356
公開番号(公開出願番号):特開2005-269284
出願日: 2004年03月19日
公開日(公表日): 2005年09月29日
要約:
【課題】現在最も周波数温度特性の良いATカット水晶振動子よりも、周波数変化量がさらに大幅に少ない振動子を提供する。 【解決手段】水晶基板上にラム波型弾性波を発生させるすだれ状電極又は該電極と反射器が配置され、水晶基板のカット面及びラム波型弾性波の伝搬方向がオイラー角表示(λ,μ,θ)で下記(1)又は(2)式を満たすように構成されているラム波型弾性波素子。 (1)λ=11〜19°,μ=2〜10°,θ=86〜94° (2)λ=41〜49°,μ=170〜178°,θ=86〜94°また、この素子において、水晶基板の厚みHとすだれ状電極の周期長Λとの比H/Λを1.7〜2.3の範囲内とする。【選択図】図5
請求項(抜粋):
水晶基板上に少なくとも一つのラム波型弾性波を発生させるすだれ状電極又は該電極と反射器が配置され、該水晶基板のカット面及びラム波型弾性波の伝搬方向がオイラー角表示(λ,μ,θ)で下記(1)式又は(2)式を満たすように構成されていることを特徴とするラム波型弾性波素子。 (1)λ=11〜19°,μ=2〜10°,θ=86〜94° (2)λ=41〜49°,μ=170〜178°,θ=86〜94°
IPC (3件):
H03H9/25 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18
FI (3件):
H03H9/25 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A
Fターム (10件):
5J097AA21 ,  5J097DD09 ,  5J097FF01 ,  5J097GG02 ,  5J097GG05 ,  5J097GG07 ,  5J097KK03 ,  5J097KK06 ,  5J097KK07 ,  5J097KK09
引用特許:
出願人引用 (3件)
引用文献:
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