特許

J-GLOBAL ID：200903059476197414

研磨方法

発明者： 菅田 茂也 ,  白銀 孝人
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120488
公開番号（公開出願番号）：特開2000-308959
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 加工物の表面のうねり成分を除去し、形状精度を向上させるとともに、表面粗さの小さな表面を得る。【解決手段】 加工物6の表面6aに対してポリッシャ9を倣わせながら、表面6aを研磨する研磨方法において、表面6aを軟質金属で形成されたポリッシャ9で研磨加工する工程と、その後の表面6aを不織布で形成されたポリッシャ9で研磨加工する工程とを有する。

請求項（抜粋）：

加工物の表面に対してポリッシャを倣わせながら、該表面を研磨する研磨方法において、前記表面を軟質金属で形成されたポリッシャで研磨加工する工程と、その後の表面を不織布で形成されたポリッシャで研磨加工する工程とを有することを特徴とする研磨方法。

IPC (2件)：

B24B 37/02 ,  B24B 13/00

FI (2件)：

B24B 37/02 Z ,  B24B 13/00 Z

Fターム (21件)：

3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049AA12 ,  3C049AA13 ,  3C049AB03 ,  3C049AB04 ,  3C049BA12 ,  3C049CA02 ,  3C049CA03 ,  3C049CB01 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AA13 ,  3C058AB03 ,  3C058AB04 ,  3C058BA12 ,  3C058CA02 ,  3C058CA03 ,  3C058CB01 ,  3C058DA02