自動焦点検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-056327
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253878
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】本発明は、レーザ発生源の寿命を延ばすことができるとともに、消費電力の低減も可能にした自動焦点検出装置を提供する【解決手段】合焦開始位置について制御部21により合焦動作範囲以外が検出されると、半導体レーザ発生源1を長い周期でレーザ点灯させながら対物レンズ5を被検体6表面から離れる方向に上方の退避位置まで後退させ、その後、被検体6表面に近付く方向に移動させる退避動作を実行し、長い周期のレーザ点灯の一つが合焦動作範囲の領域に達し、制御部21により合焦動作範囲が検出されると、半導体レーザ発生源1を短い周期のレーザ点灯に切り替えるとともに、被検体6表面の変位信号に基づいて方向判別を行いながら対物レンズ5を合焦点に移動する。

請求項（抜粋）：

プローブ光を対物レンズを含む光学系を通して被検体表面に照射し、この被検体表面からの反射光に基づいて被検体表面に対する焦点検出を行う自動焦点検出装置において、前記被検体表面からの反射光に基づいて合焦動作範囲を判定する判定手段と、この判定手段での合焦動作範囲外の判定により前記対物レンズまたは被検体の一方を互いに開離する方向に所定の退避位置まで移動させ、この後近付く方向に移動させる退避動作を実行する退避動作実行手段と、この退避動作実行手段による退避動作の間は、前記プローブ光の点灯周期を前記合焦動作範囲での点灯周期より長い周期で点灯するプローブ光点灯制御手段とを具備したことを特徴とする自動焦点検出装置。

IPC (4件)：

G02B 7/36 , G02B 7/34 , G03B 13/36 , G01C 3/06

FI (4件)：

G02B 7/11 D , G01C 3/06 P , G02B 7/11 C , G03B 3/00 A

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