特許

J-GLOBAL ID：200903059485534997

研磨パッドのドレッシング装置

発明者： 甘利 昌彦 ,  斉藤 隆穂 ,  宮地 計二 ,  清家 善之 ,  土肥 俊郎
出願人/特許権者： 旭サナック株式会社 ,  土肥 俊郎
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-027998
公開番号（公開出願番号）：特開平10-225862
出願日： 1997年02月12日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】研磨パッドの表層から深層まで研磨屑を残すことなく洗浄することができるドレッシング装置を提供する。【解決手段】洗浄液を噴射するノズル14をモータ30によってパイプ16を軸に揺動運動させることで、ノズル14の研磨パッド50に対する噴射角度を周期的に変化させる。ノズル14の噴射軸が研磨パッド50の表面に対してほぼ垂直である時には、ノズル14から噴射される洗浄液は、研磨パッド50の深層まで達して、研磨パッド50内部に蓄積した研磨屑を掘り起こして研磨パッド50の表層に浮き上がらせる。また、ノズル14の噴射軸が研磨パッド50の表面に対して斜めである時には、ノズル14から噴射される洗浄液は、研磨パッド50の表層の研磨屑を洗い流す。

請求項（抜粋）：

研磨装置の研磨パッドにノズルから洗浄液を噴射してドレッシングする研磨パッドのドレッシング装置において、前記研磨パッドに対する前記洗浄液の噴射角度を変化させるように前記ノズルを揺動運動させる機構を有することを特徴とする研磨パッドのドレッシング装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-010769
  
• 特開昭63-185575
  
• 回転ノズル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-147608   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開平3-010769
  
• 特開昭63-185575