特許

J-GLOBAL ID：200903059488796950

試料観察方法および走査型電子顕微鏡

発明者： 高瀬 博光
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 勝 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-368061
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195459
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 低加速電圧の電子ビームを用いて簡便に試料観察を行う。【解決手段】 第1の電子銃2から電子ビーム3を試料7に走査し、試料7から放出された2次電子12を2次電子検出手段13が検出し試料7の表面形状をCRT17に表示する。定期的にこの試料観察(電子ビーム3の照射)を中断し、CMA8の第2の電子銃8aから試料7に電子ビーム10を照射する。電子ビーム10の照射により試料7から放出されたオージェ電子11をCMA8のオージェ電子検出手段8bが検出しエネルギーを測定する。チャージアップ判定手段9が、このエネルギーの測定値Ek1と理論値Ek2との差を求め、これが許容範囲外ならばチャージアップありとみなし、主コントローラー14によりそれ以降の電子ビーム3照射の際の電子銃2の加速電圧を変化させ、2次電子量を調整してチャージアップを抑制する。

請求項（抜粋）：

第1の電子銃から電子ビームを照射し試料上で走査させ、前記電子ビームを受けた前記試料から放出される2次電子を検出して前記試料の表面の形態を観察する試料観察方法において、前記第1の電子銃の作動を一時停止させて、前記試料の観察時に前記電子ビームが走査される領域に、チャージアップ判定のための他の電子ビームを第2の電子銃から照射する工程と、前記第2の電子銃から照射される前記他の電子ビームにより前記試料から放出されるオージェ電子を検出する工程と、検出された前記オージェ電子のエネルギーに基づいて前記試料のチャージアップの有無を判定する工程と、チャージアップと判定された場合に、前記第1の電子銃の加速電圧を自動的に変更して設定する工程とを含むことを特徴とする試料観察方法。

IPC (4件)：

H01J 37/28 ,  G01N 23/22 ,  G01N 23/227 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

H01J 37/28 B ,  G01N 23/22 ,  G01N 23/227 ,  H01L 21/66 C

Fターム (26件)：

2G001AA03 ,  2G001AA10 ,  2G001BA07 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001FA10 ,  2G001FA18 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA12 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001RA10 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106CA70 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ23 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04