特許
J-GLOBAL ID：200903059490536990
荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-366223
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149850
出願日： 1990年06月20日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】【課題】静電レンズのみを用いても磁界レンズと同等もしくはそれ以下の低収差を実現することができ、それにより、電子光学系を小型に構成することができ、しかも高分解能を得ることのできる荷電粒子線装置を提供すること。【解決手段】荷電粒子源1から荷電粒子線2を引出電極3を介して引き出し、第三,第二,第一及び最終レンズ電極3,5,6及び7より構成される静電レンズで集束し、偏向器9で偏向走査しながら試料8上に照射する荷電粒子線装置において、最終レンズ電極7の電位を、第二レンズ電極5の電位に対して、荷電粒子線2が負に帯電した荷電粒子線の場合には正側の電位に、荷電粒子線2が正に帯電した荷電粒子線の場合には負側の電位に保つことにより、細くて低収差の集束荷電粒子線を短いワーキング距離で試料上に照射する。【効果】細くて低収差の集束荷電粒子線を短いワーキング距離で試料上に照射することができる。また、集束レンズ系を全て静電レンズのみで構成できるので、非常に小型な荷電粒子線装置を実現できる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子源から荷電粒子を発生させる荷電粒子線発生手段と、該荷電粒子線を試料上に集束させる少なくとも対物レンズを含む荷電粒子線集束手段とを有する荷電粒子線装置において、上記対物レンズは、上記荷電粒子線を通過させるための開口をそれぞれ有する3つの電極、即ち上記試料に近い側から上記荷電粒子源に向かって最終電極,第一電極及び第二電極からなる静電型対物レンズであり、上記最終電極の電位が上記第二電極の電位に対して、上記荷電粒子線が負に帯電した粒子線である場合には負側の電位に、上記荷電粒子線が正に帯電した荷電粒子線である場合には正側の電位に保たれているとともに、上記第一電極に電圧を印加して上記試料上に上記荷電粒子線を集束させることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/248
, H01J 37/12
, H01J 37/153
H01J 37/248 C
, H01J 37/248 Z
, H01J 37/12
, H01J 37/153 B
