特許

J-GLOBAL ID：200903059491156740

キャリアおよび表面処理方法並びに表面処理装置

発明者： 臼井 文寛
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-237463
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068364
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 高温の濃硫酸等の薬液を満たした薬液槽内に基板を浸漬して処理する従来の処理装置では、基板を保持するキャリアを吊り下げ式の昇降装置でキャリア全体を薬液槽内に所定時間浸漬した後に吊り上げるようにしていたため、キャリアを吊り上げる際に昇降装置のアームとキャリアの接触部に薬液が付着したまま吊り上げられるので、キャリア移送中に落下したり次の洗浄装置に持ち込まれる薬液の量が多くなるという問題点があった。【解決手段】 キャリア(10)の支柱(11a〜11d)を収納部よりも上方へ延設させて引掛け部(18a〜18d)を設けるようにした。

請求項（抜粋）：

フッ素樹脂コーティングされたパイプにより籠状に形成された被処理物を収納可能な収納部と、該収納部より上方へ延設され先端に引掛け部が設けられた複数の延設部とを備えてなることを特徴とするキャリア。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  G02F 1/1333 500

FI (2件)：

H01L 21/68 V ,  G02F 1/1333 500

Fターム (10件)：

2H090HB13X ,  2H090HC14 ,  2H090HC18 ,  2H090JB02 ,  5F031BB01 ,  5F031BC01 ,  5F031BC08 ,  5F031BC10 ,  5F031KK20 ,  5F031MM10