特許

J-GLOBAL ID：200903059493325744

二次元化学画像測定装置

発明者： 高松 修司
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-284259
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111516
出願日： 1998年10月06日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 センサ部分の構造が簡単であり、従来においては測定が困難であった人体内部や、バルク状測定対象内部などにおける微小領域を迅速に測定することができる二次元化学画像測定装置を提供すること。【解決手段】 光導波路2の一端に、半導体基板6の一方の面にセンサ面8を有するセンサ部3を設けるとともに、前記光導波路2の他端に、個別に点灯制御される複数の単位光源21からなる光走査用光源アレイ18およびこの光走査用光源アレイ18によって発せられる照射光17を光導波路2へ集光する光学系19を設け、前記照射光17を前記半導体基板6に対して二次元的に照射するようにした。

請求項（抜粋）：

光導波路の一端に、半導体基板の一方の面にセンサ面を有するセンサ部を設けるとともに、前記光導波路の他端に、個別に点灯制御される複数の単位光源からなる光走査用光源アレイおよびこの光走査用光源アレイによって発せられる照射光を光導波路へ集光する光学系を設け、前記照射光を前記半導体基板に対して二次元的に照射するようにしたことを特徴とする二次元化学画像測定装置。