特許
J-GLOBAL ID：200903059494112108
インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-168264
公開番号（公開出願番号）：特開平8-025631
出願日： 1994年07月20日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】【目的】 シリコン単結晶基板の異方性エッチングにより寸法精度が優れかつインクの流れがスムーズな、インクジェット式記録ヘッド用のスペーサを作成すること。【構成】 圧力発生室を形成する通孔およびインク供給口、リザーバを備えたスペーサと、蓋板を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、結晶方位(110)のシリコン単結晶を異方性エッチングする際に、圧力発生室またはインク供給口内に3角屋根状の非貫通部を形成する。この結果、圧力発生室の仕切り壁を形成する部分の片持ち梁の長さを短くでき、インク供給口の寸法を精密に管理することができ、かつインクが非貫通部分で停滞することがなくスムーズに流すことができる。
請求項（抜粋）：
スペーサと、該スペーサを挟むように配置された2枚の蓋板とによって形成された圧力発生室と、該圧力発生室にはノズル開口と、リザーバと接続するインク供給口が配置され、前記圧力発生室に圧力発生源を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記スペーサは、結晶方位(110)のシリコン単結晶を異方性エッチングにより少なくとも一部が貫通されて形成され、前記スペーサの圧力発生室内またはインク供給口には部分的に非貫通部を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
