合焦位置算出装置及びその方法とそれらを使用した電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：蔦田璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331991
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170817
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】奥行き変動がある対象物の画像を入力する場合に、焦点が合った画像として入力できる最大のサイズの部分画像及び合焦位置を算出する合焦位置算出装置を提供する。【解決手段】フォーカス制御部1、画像入力部2、設定部3、画像処理部4、評価部5、出力部6から構成され、評価部5の信頼度が所定レベルになるまで、画像処理部4が切出す部分画像のサイズを変化させ、前記信頼度が所定レベルに到達したサイズに対応する部分画像の合焦値を、その部分画像における合焦値とする。

請求項（抜粋）：

対象物が写ったフォーカスのそれぞれ異なる複数枚の画像よりなる画像系列を入力する画像系列入力手段と、前記画像系列入力手段により入力した画像系列から、前記対象物の所定の領域が写った部分画像をそれぞれ切出して、前記領域が写ったフォーカスのそれぞれ異なる複数枚の部分画像から構成される部分画像系列を作成する部分画像系列作成手段と、前記部分画像系列作成手段によって切出される部分画像のサイズを変化させて、この部分画像に写っている領域の大きさを変更する部分画像サイズ変更手段と、前記部分画像系列作成手段によって作成された部分画像系列から合焦位置を算出し、この算出した合焦位置の信頼度を評価する評価手段と、前記評価手段の信頼度が所定レベルになるまで、前記部分画像サイズ変更手段によって前記画像処理手段が切出す部分画像のサイズを変化させ、前記信頼度が所定レベルに到達したときのサイズの部分画像から構成される部分画像系列から算出した合焦位置が、前記部分画像に写った領域の合焦位置とする制御手段を有することを特徴とする合焦位置算出装置。

IPC (5件)：

G02B 7/36 , G02B 7/28 , G03B 13/36 , H01J 37/21 , H01J 37/22 502

FI (5件)：

G02B 7/11 D , H01J 37/21 B , H01J 37/22 502 A , G02B 7/11 J , G03B 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

奥行き検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-213136 出願人：株式会社東芝
特開平1-122274

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