特許

J-GLOBAL ID：200903059504563596

基板固定具

発明者： 篠原 啓二
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314117
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142557
出願日： 1993年11月19日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、基板を固定するための基板固定具と基板とが付着物のようなもので接続されていても、基板固定具から基板の離脱を容易化する。【構成】 基板101 の周辺部を上方から押さえつけて当該基板101 を固定する複数の押圧部12を有する基板固定具1 であって、各押圧部12の押圧面13のうち、少なくとも一つの押圧部12a の押圧面13a は、その他の押圧部12b,・・・,12e. ・・・,12hの押圧面13b,・・・,13e, ・・・,13hよりも基板101 側に位置するように形成されているものである。上記押圧部12a は、その他の押圧部12b,・・・,12e, ・・・,12hよりも弾性力が小さくなる状態に形成されたものである。図示はしないが、各押圧部のうち押圧面は、基板101 の表面に対して傾斜した状態に形成されていてもよい。

請求項（抜粋）：

基板の周辺部を上方から押さえつけて当該基板を固定する複数の押圧部を有する基板固定具において、前記各押圧部の押圧面のうち、少なくとも一つの押圧部の押圧面は、その他の押圧部の押圧面よりも基板側に位置する状態に形成されたものであることを特徴とする基板固定具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/31 F