特許

J-GLOBAL ID：200903059505348974

偏光特性測定装置および偏光特性測定方法

発明者： 杉山 喜和
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-199250
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030582
出願日： 1997年07月09日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 偏光状態の測定における入射光の偏光状態と偏光特性の測定における入射光の偏光状態との不一致に起因する測定誤差を抑えた高精度の偏光特性測定装置。【解決手段】 試料(4)を光路中に設定しない状態で第1の位置に位置決めした偏光子(2)を介して形成した第1の入射光の偏光状態を測定した後に、試料を光路中に設定した状態で偏光子を第1の入射光を用いて第1回目の偏光特性測定を行う。次いで、偏光子を第2の位置へ回転させて第2の入射光を形成し、試料を光路中に保持した状態で第2の入射光を用いて第2回目の偏光特性測定を行った後に、試料を光路中から取り外した状態で第2の入射光の偏光状態の測定を行う。

請求項（抜粋）：

偏光子を介して所定の偏光状態を有する光を試料に照射するための照射系と、前記所定の偏光状態の光に対して前記試料から射出された光から直線偏光を取り出すための検光子と、該検光子を介して取り出された直線偏光の強度を検出するための検出器と、前記試料の偏光特性の測定動作を制御するための制御系とを備え、前記検光子の回転角と各回転角における前記直線偏光の強度とに基づいて前記試料の偏光特性を測定する偏光特性測定装置において、前記制御系は、前記試料を光路中に設定しない状態で第1の位置に位置決めした前記偏光子を介して形成した第1の入射光の偏光状態を測定した後に、前記試料を光路中に設定した状態で前記偏光子を前記第1の位置に保持したまま前記第1の入射光を用いて前記試料の第1回目の偏光特性測定を行い、前記偏光子を第2の位置へ回転させて前記第1の入射光の偏光状態とは異なる偏光状態を有する第2の入射光を形成し、前記試料を光路中に保持した状態で前記第2の入射光を用いて前記試料の第2回目の偏光特性測定を行った後に、前記試料を光路中から取り外した状態で前記偏光子を回転させることなく前記第2の位置に保持したまま前記第2の入射光の偏光状態の測定を行うことを特徴とする偏光特性測定装置。