特許

J-GLOBAL ID：200903059513176791

露光装置

発明者： 奥村 正彦 ,  川井 秀実
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-179369
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347240
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】 照明光学系を大型化及び複雑化することなく、可変視野絞りの投影像のぼけを比較的少なくする。【構成】 レチクル1とレチクルアライメント光学系5a,5bとの間に移動自在に遮光板6a,6b,6c,6dよりなる可変視野絞りを配置し、遮光板6a及び6bにアライメント光を通過させるための開口部9a及び9bを形成し、遮光板6a及び6bに開口部9a及び9bを覆うようにそれぞれ補助遮光部材7a及び7bを取り付ける。

請求項（抜粋）：

露光光を発生する光源と、前記露光光を集光してマスクを感光基板側に照明する照明光学系と、前記マスクに対して前記光源側に配置され前記マスクにアライメント光を照射して前記マスクの位置合わせを行うアライメント光学系とを有し、前記マスクのパターンを前記感光基板に露光する露光装置において、前記マスクと前記アライメント光学系との間の前記マスクの近傍に前記マスクに平行に移動自在に配置され、前記照明光学系による前記マスク上の照明視野を設定する可変視野絞りと、該可変視野絞りに形成され前記アライメント光を通過させる開口部と、前記アライメント光学系に対して前記光源側に前記可変視野絞りと連動して移動自在に配置され、前記可変視野絞りの前記開口部に対する前記露光光の照射を防止する補助遮光部材とを設けた事を特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (2件)：

H01L 21/30 311 M ,  H01L 21/30 311 S