特許

J-GLOBAL ID：200903059516642475

エッチング方法及びエッチング装置

発明者： 松倉 祐輔
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-363924
公開番号（公開出願番号）：特開2000-188282
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】 エッチング方法及びエッチング装置に関し、矩形波を用いずに高周波電力を変調することによって、放電を安定に維持しながら、精度良くエッチング速度を制御する。【解決手段】 放電を励起するための高周波電力を三角波状の信号によって変調し、この三角波状の信号の繰り返し周波数を調整して、原料ガス1のプラズマ放電による被エッチング物2のエッチング速度を調整して、エッチングを行う。

請求項（抜粋）：

原料ガスのプラズマ放電によって被エッチング物のエッチングを行うエッチング方法において、放電を励起するための高周波電力を三角波状の信号によって変調し、前記三角波状の信号の繰り返し周波数を調整して、エッチング速度を調整することを特徴とするエッチング方法。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/338 ,  H01L 29/812

FI (3件)：

H01L 21/302 B ,  C23F 4/00 E ,  H01L 29/80 F

Fターム (30件)：

4K057DA16 ,  4K057DB11 ,  4K057DD01 ,  4K057DE01 ,  4K057DE04 ,  4K057DE06 ,  4K057DE08 ,  4K057DG15 ,  4K057DM01 ,  4K057DM18 ,  4K057DM20 ,  4K057DM28 ,  4K057DN01 ,  5F004BA04 ,  5F004BA14 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004CA03 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA11 ,  5F004DA13 ,  5F004DA18 ,  5F004DB20 ,  5F102GB01 ,  5F102GC01 ,  5F102GD01 ,  5F102GJ05 ,  5F102GR04 ,  5F102HC16