ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)： ▲吉▼田繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-104901
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298344
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】極めて多量にガラス粉末などの無機粉末を含有していても保存安定性(粘度安定性)に優れると共に、アンダーカットを生ずることなく高い解像性を示し、フォトリソグラフィー技術により大面積の高精細パターンを容易に形成し得るアルカリ現像型でポジ型の感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物の基本的な第一の態様は、(A)主鎖に下記一般式(1)で表わされる連結基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜100,000の重合体、(B)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物を含有しており、また第二の態様は、上記成分に加えてさらに(C)無機粉末を含有している。上記無機粉体としては、ガラス粉末、セラミック粉末、黒色顔料、導電性粉末などが用いられる。上記重合体(A)としては、ジカルボン酸とジビニルエーテルの重合体であるポリヘミアセタールエステルが好適に用いられる。【化1】

請求項（抜粋）：

(A)主鎖に下記一般式(1)で表わされる連結基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜100,000の重合体、及び(B)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

IPC (10件)：

G03F 7/039 601 , C08G 63/00 , C08K 3/08 , C08K 3/22 , C08K 3/40 , C08K 5/00 , C08L 67/00 , G03F 7/004 505 , H01L 21/027 , C08J 5/18 CEZ

FI (10件)：

G03F 7/039 601 , C08G 63/00 , C08K 3/08 , C08K 3/22 , C08K 3/40 , C08K 5/00 , C08L 67/00 , G03F 7/004 505 , C08J 5/18 CEZ , H01L 21/30 502 R

Fターム (68件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA11 , 2H025AA16 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BJ10 , 2H025CB20 , 2H025CB41 , 2H025CB55 , 2H025CC12 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4F071AA69 , 4F071AB06 , 4F071AB18 , 4F071AB28 , 4F071AC12 , 4F071AD02 , 4F071AE09 , 4F071AE15 , 4F071AE22 , 4F071AH12 , 4F071BA03 , 4F071BB02 , 4F071BC01 , 4J002CE001 , 4J002DA067 , 4J002DE097 , 4J002DE107 , 4J002DE117 , 4J002DE147 , 4J002DE157 , 4J002DL007 , 4J002EL086 , 4J002EQ016 , 4J002EU046 , 4J002EU186 , 4J002EV216 , 4J002EV246 , 4J002EV296 , 4J002EV306 , 4J002EZ006 , 4J002FD017 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J029AB01 , 4J029AC01 , 4J029CA01 , 4J029CA02 , 4J029CA03 , 4J029CA04 , 4J029CA05 , 4J029CA06 , 4J029CB04A , 4J029CB05A , 4J029CD03 , 4J029CD07 , 4J029KE17

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