特許
J-GLOBAL ID：200903059521846194
電気機械素子および半導体デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
藤島 洋一郎
, 三反崎 泰司
, 長谷部 政男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-252400
公開番号（公開出願番号）：特開2009-088685
出願日： 2007年09月27日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：
【課題】簡単な素子構造で広帯域フィルタを実現することの可能な電気機械素子を提供する。【解決手段】振動可能に形成された圧電体膜21と、3つの電極(対向電極22、入力電極23、出力電極24)とを備える。入力電極23および出力電極24は圧電体膜21の上面に互いに別個独立に設けられ、対向電極22は圧電体膜21下面に設けられている。圧電体膜21は、共振周波数と反共振周波数とを有する共振モードで共振振動するが、入力電極23と出力電極24との間に生じる寄生容量が、入力電極23から圧電体膜21を介して出力電極24に繋がる共振回路に直列に繋がるので、反共振周波数が共振周波数から十分に離れている。これにより、例えば、第1の電気機械素子1の共振周波数を互いにわずかに異ならせたものを並列接続するだけで、広帯域フィルタを実現することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
上面および下面を有する振動可能な圧電体膜と、
前記上面および前記下面のいずれか一方に互いに別個独立に設けられた入力電極および出力電極と、
前記上面および前記下面のうち前記入力電極および出力電極の設けられている面とは異なる面に設けられると共に接地される対向電極と
を備えたことを特徴とする電気機械素子。
IPC (4件)：
H03H 9/17
, H03H 9/02
, H01L 41/09
, H01L 41/18
H03H9/17 F
, H03H9/02 K
, H03H9/02 J
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 L
5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108CC08
, 5J108CC11
, 5J108FF02
, 5J108JJ01
