特許
J-GLOBAL ID：200903059524248778
誘電率測定装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-256963
公開番号（公開出願番号）：特開2006-220646
出願日： 2005年09月05日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：
【課題】測定試料の誘電率の測定精度を改善できる誘電率測定装置および方法を提供することを目的とする。【解決手段】誘電率測定装置に、測定試料の電波入射面側に配置され、電波入射面から測定試料側を見込んだインピーダンスZinの整合状態を変化させ、測定試料の誘電率変化に対して、測定されるSパラメータが所定の変化をするような特性を有する誘電体と、測定試料に電波を入射し、Sパラメータを測定する測定手段とを備えることにより達成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定試料のSパラメータを測定し、複素比誘電率の値を算出する誘電率測定装置において:
前記測定試料の電波入射面側に配置され、電波入射面から測定試料側を見込んだインピーダンスの整合状態を変化させ、前記測定試料の誘電率変化に対して、測定されるSパラメータが所定の変化をするような特性を有する誘電体;
前記測定試料に電波を入射し、Sパラメータを測定する測定手段;
を備えることを特徴とする誘電率測定装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N22/00 Y
, G01N22/00 G
