特許

J-GLOBAL ID：200903059525338320

ハードディスク基板の研磨用組成物及びこれを用いる研磨方法

発明者： 川島 雅博 ,  古崎 典子
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298091
公開番号（公開出願番号）：特開平9-137156
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】 保存安定性が良く、且つ優れた研磨面を与えるハードディスク基板の研磨用組成物を提供する。【解決手段】 水溶性バインダー樹脂及び平均分子量5000以上の高分子分散剤を含む水性媒体中に砥粒を分散させて成り、且つ高分子分散剤がポリオキシアルキレン鎖部分(A)とカルボキシル基が結合している炭化水素鎖部分(B)とを有しており、その重量比がB:A=1:0.01〜0.2であることを特徴とするハードディスク基板の研磨用組成物。

請求項（抜粋）：

水溶性バインダー樹脂及び平均分子量5×103 以上の高分子分散剤を含む水性媒体中に砥粒を分散させて成り、且つ高分子分散剤がポリオキシアルキレン鎖部分(A)と、カルボキシル基が結合している炭化水素鎖部分(B)とを有しており、その重量比がB:A=1:0.01〜0.2であることを特徴とするハードディスク基板の研磨用組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00

FI (3件)：

C09K 3/14 550 J ,  C09K 3/14 550 D ,  B24B 37/00 H