特許

J-GLOBAL ID：200903059526455070

Ce(セリウム)又はGd(ガドリニウム)のほう化物を含む陰極を用いたX線検査装置

発明者： 矢田 慶治 ,  甲斐 廣海 ,  齋藤 泰
出願人/特許権者： 株式会社東研
代理人 (5件)： 安形 雄三 ,  五十嵐 貞喜 ,  北野 進 ,  石井 明夫 ,  星 公弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-016110
公開番号（公開出願番号）：特開2005-207945
出願日： 2004年01月23日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】分解能が高いX線検査装置を提供すること。【解決手段】電子銃、電子レンズ、ターゲット及び検出器を少なくとも具備したX線検査装置において、前記電子銃に用いられる熱電子放射陰極が希土類元素Ce(セリウム)やGd(ガドリニウム)のほう化物を含む陰極で構成されていることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子銃、電子レンズ、ターゲット及び検出器を少なくとも具備したX線検査装置において、前記電子銃に用いられる熱電子放射陰極がCe(セリウム)又はGd(ガドリニウム)のほう化物を含むことを特徴とするX線検査装置。

IPC (6件)：

G01N23/04 ,  G21K1/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H01J1/14 ,  H01J35/06

FI (6件)：

G01N23/04 ,  G21K1/00 E ,  G21K5/02 X ,  G21K5/08 X ,  H01J1/14 C ,  H01J35/06 B

Fターム (5件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA20 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• X線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-307635   出願人：株式会社島津製作所
• Al-Fe系化合物のEPMA同定法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-345207   出願人：日本軽金属株式会社
• 特開昭58-186126