特許

J-GLOBAL ID：200903059532327768

照明光学系および該光学系を備えた露光装置

発明者： 山室 研一 ,  岡本 和也 ,  岩崎 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139936
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313842
出願日： 1995年05月15日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 被照射面上において均一な照度分布を得ることのできる、コンパクトで軽量な照明光学系および該光学系を備えた露光装置を提供すること。【構成】 所定の物体面をほぼ均一に照明する照明光学系において、ほぼ平行な照明光束を供給するための光源手段と、互いに独立に向きを変化させることのできる多数の微小反射面を有し、該多数の微小反射面の各々により前記光源手段からの照明光束を反射して偏向するための光偏向手段と、前記光偏向手段で反射された照明光束に基づいて複数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、前記多光源像形成手段からの光束を集光して前記物体面上を重畳的に照明するコンデンサ光学系と、を備えている。

請求項（抜粋）：

所定の物体面をほぼ均一に照明する照明光学系において、ほぼ平行な照明光束を供給するための光源手段と、互いに独立に向きを変化させることのできる多数の微小反射面を有し、該多数の微小反射面の各々により前記光源手段からの照明光束を反射して偏向するための光偏向手段と、前記光偏向手段で反射された照明光束に基づいて複数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、前記多光源像形成手段からの光束を集光して前記物体面上を重畳的に照明するコンデンサ光学系と、を備えていることを特徴とする照明光学系。

IPC (4件)：

G02B 27/00 ,  G02B 26/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 27/00 V ,  G02B 26/08 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 C