特許

J-GLOBAL ID：200903059543603988

振動子、振動子の製造方法、および電子機器

発明者： 小久保 明 ,  村田 昭浩 ,  中島 卓哉 ,  清水 武士
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-272740
公開番号（公開出願番号）：特開2007-088639
出願日： 2005年09月20日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】エネルギーの損失を低減しつつ、優れた振動特性を有する振動子、振動子の製造方法、および電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の振動子(マイクロレゾネータ1)は、基部2と、基部2に対し変位可能に支持された可動部4とを有し、可動部4に通電することにより、可動部4を振動させ、および/または、可動部4の振動状態を検出する振動子であって、可動部4は、その一部に、可動部4の電気抵抗を低下させる処理を施した低抵抗部48を有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基部と、 前記基部に対し変位可能に支持された可動部とを有し、 前記可動部に通電することにより、前記可動部を振動させ、および/または、前記可動部の振動状態を検出する振動子であって、 前記可動部は、その少なくとも一部に、前記可動部の電気抵抗を低下させる処理を施した低抵抗部を有することを特徴とする振動子。

IPC (4件)：

H03H 9/24 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00 ,  B06B 1/02

FI (4件)：

H03H9/24 Z ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00 ,  B06B1/02 Z

Fターム (22件)：

4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA08 ,  4M112DA09 ,  4M112DA10 ,  4M112DA13 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA12 ,  4M112EA18 ,  4M112FA01 ,  5D107AA03 ,  5D107AA05 ,  5D107BB20 ,  5D107CC09 ,  5D107CD01 ,  5J108CC00

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第5025346号明細書