インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-222900
公開番号（公開出願番号）：特開平8-085212
出願日： 1994年09月19日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】剛性があり、しかも、小径、高精度のノズルを有するノズルプレートを提供する。【構成】穴3があけられている金属プレート1と、樹脂フィルム2とを接合し、該樹脂フィルム2の前記金属プレート1の穴3に対応する位置に、該金属プレート1側よりエキシマレーザにてノズル4が形成する。金属プレートを有するので剛性があり、ノズルを樹脂にて形成するので、エキシマレーザにて小径、高精度にすることができる。

請求項（抜粋）：

穴あきの金属プレートと樹脂フィルムとを接合してなり、前記樹脂フィルムの前記金属プレートの穴に対応する位置に、該金属プレート側よりエキシマレーザにてノズルが形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドのノズルプレート。

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-187342
特開平3-169559
特開平2-187345

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