特許
J-GLOBAL ID：200903059560318669
ブレードオートチェンジャー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-032819
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326186
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】ダイシング装置における切削用ブレードの着脱を、手作業によらず自動的に簡単に出来るようにした、ブレードオートチェンジャーを提供する。【構成】 半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置において、スピンドルに装着されている旧ブレードを取り外すと共に、このスピンドルに新たなブレードを装着するための、ブレード着脱手段及びナット着脱手段とを少なくとも含む。ナット着脱手段は、スピンドル押え部とナット回転部とを備える。ブレード着脱手段は、旧ブレード着脱手段と新ブレード着脱手段とが対称的に設けられる。ナット着脱手段がブレード着脱手段の内部に組み込まれる。ブレード交換指令に基づいてブレードの着脱を遂行する。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置において、スピンドルに装着されている旧ブレードを取り外すと共に、このスピンドルに新たなブレードを装着するためのブレード着脱手段及びナット着脱手段とを少なくとも含むブレードオートチェンジャー。
引用特許：
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