多層膜X線反射鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-222496
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062393
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】熱負荷のかかる環境で使用しても、多層膜の構造の乱れが少ない多層膜X線反射鏡を提供すること。【構成】異なる物質層が対になって複数層積層された構造の多層膜X線反射鏡において、層対を構成する物質層の少なくとも片側の層に、もう一方の層の物質を含有させる。これによって層対間の元素の拡散を押さえる。

請求項（抜粋）：