特許
J-GLOBAL ID：200903059569684889
密着型イメージセンサおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319555
公開番号（公開出願番号）：特開平6-169077
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】密着型イメージセンサの透光性導電膜を光電変換素子部の上に設けた透光性絶縁膜の上に設けて接地電極と直接電気的に接続することにより構造および製造工程を簡素化する。【構成】透光性ガラス基板1の上に配置した光電変換素子部16および接地電極2を含む表面に透光性絶縁膜7,9を形成して開口部8aを設け、この開口部8aを含む透光性絶縁膜9の表面全体に形成したITO膜10により接地電極2との間の電気的接続を確保し、しかる後、ITO膜10の上に透光性接着剤12を介して透光性ガラス薄板11を固着する。
請求項（抜粋）：
透光性ガラス基板上に配置して設けた光電変換素子部および接地電極と、前記光電変換素子部および接地電極を含む表面に積層して設けた第1および第2の透光性絶縁膜と、前記接地電極の表面の少なくとも一部を露出させるように前記第1および第2の透光性絶縁膜に設けた開口部と、前記開口部を通じて前記接地電極に電気的に接触する部分を含み前記第2の透光性絶縁膜の表面を覆って形成されたITO膜と前記ITO膜の上に透光性接着剤を介して固着された透光性ガラス薄板とを有することを特徴とする密着型イメージセンサ。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
