特許

J-GLOBAL ID：200903059572254020

検査装置

発明者： 高尾 至
出願人/特許権者： 東京エレクトロン山梨株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-170144
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343486
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 載置手段の前段で被検査体の予加熱或いは予冷却を行うようにした検査装置を提供する。【構成】 被検査体Wを収容する収容手段4と載置手段20との間に温度調整手段18を設ける。搬送手段10により搬送される被検査体Wは、温度調整手段18により目的とする検査温度或いはその近傍の温度まで予加熱或いは予冷却される。そして、被検査体は載置手段10にて目的とする検査温度に設定されて、検査手段38により電気的特性が検査される。これにより、被検査体と載置手段の温度差に起因する待ち時間を短縮化する。

請求項（抜粋）：

温度制御機構を有して被検査体を載置する載置手段と、前記載置手段に載置されて所定の温度になされた被検査体を検査するための検査手段と、前記被検査体を収容するための収容手段と、前記収容手段と前記載置手段との間で被検査体の搬送を行う搬送手段と、前記載置手段に載置される前記被検査体の温度を検査温度に近づけるための温度調整手段とを備えたことを特徴とする検査装置。