特許
J-GLOBAL ID:200903059573941357

金属粒子検出センサ及びその粒径測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 橋爪 良彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-155983
公開番号(公開出願番号):特開平9-318574
出願日: 1996年05月27日
公開日(公表日): 1997年12月12日
要約:
【要約】【課題】 広範囲な粒径の金属粒子分布を精度良く検出可能な金属粒子検出センサ及びその粒径測定方法を提供する。【解決手段】 絶縁性媒体中に配設され、かつ、電極間に所定電圧が印加された電極対を有し、前記絶縁性媒体中に混在する金属粒子によってこの電極間に発生する短絡電流をパルス化する電極部20と、このパルス信号のピーク電圧を検出する信号処理部30と、このピーク電圧値及び前記パルス信号のカウント数に基づいて、絶縁性媒体中の前記金属粒子の粒径及び濃度を算出するデータ処理部40とを備えた金属粒子検出センサにおいて、電極部20に、測定する粒径範囲をずらすために、異なる距離の電極対を複数配設している。前記複数の電極は、櫛形電極であってもよい。
請求項(抜粋):
絶縁性媒体中に配設され、かつ、電極間に所定電圧が印加された電極対を有し、前記絶縁性媒体中に混在する金属粒子によってこの電極間に発生する短絡電流をパルス化する電極部(20)と、電極部(20)からのパルス信号のピーク電圧を検出する信号処理部(30)と、信号処理部(30)からのピーク電圧を入力し、このピーク電圧値及び前記パルス信号のカウント数に基づいて、絶縁性媒体中の前記金属粒子の粒径及び濃度を算出するデータ処理部(40)とを備えた金属粒子検出センサにおいて、前記電極部(20)に、測定する粒径範囲をずらすために、異なる距離の電極対を複数配設したことを特徴とする金属粒子検出センサ。
IPC (4件):
G01N 27/06 ,  G01N 15/14 ,  G01N 27/04 ,  G01V 3/02
FI (4件):
G01N 27/06 ,  G01N 15/14 Z ,  G01N 27/04 ,  G01V 3/02 A

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