特許

J-GLOBAL ID：200903059574121981

リブ形成法

発明者： 佐藤 弘章
出願人/特許権者： 日本合成化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227519
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052588
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 セラミックス材料による良好なリブ形成法を提供すること。【解決手段】 基板上に感光性樹脂組成物層を設けて、露光、現像によって所定の凹部を形成した後、該凹部にリブ形成用セラミックス材料を充填・乾燥後、硬化した感光性樹脂組成物をpH5以下の酸性溶液で剥離して、その後焼成する。

請求項（抜粋）：

基板上に感光性樹脂組成物層を設けて、露光、現像によって所定の凹部を形成した後、該凹部にリブ形成用セラミックス材料を充填・乾燥後、硬化した感光性樹脂組成物をpH5以下の酸性溶液で剥離して、その後焼成することを特徴とするリブ形成法。

IPC (6件)：

G03F 7/40 501 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 324 ,  H01J 9/02 ,  H01J 9/24 ,  H05K 3/00

FI (6件)：

G03F 7/40 501 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 324 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 9/24 B ,  H05K 3/00 A