特許
J-GLOBAL ID：200903059580233082
透明基板の位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-123144
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306007
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】同種の位置合わせマークを付した複数の透明基板同士であっても容易かつ正確に位置合わせできるようにする。【構成】液晶表示パネルの何れか一方のガラス基板のアライメントマークを撮像部に取り込み、濃度ヒストグラム変換して(ステップS100)、2値化して座標位置を認識する(ステップS101)。ここで光量をチェックして(ステップS102)、適切な光量であれば、上ガラス基板のアライメントマーク画像(U)を取り込む。次に、下ガラス基板を挿入して、上下基板のアライメントマークの合成画像を濃度ヒストグラム変換し(ステップS106)、再度、照度を判別する(ステップS107)。照度が適切ならば、合成画像から一方のガラス基板の画像を減算して、後から重ねた透明基板のアライメントマーク画像を抽出する。個々のマーク位置から位置調整を行う(ステップS112)。
請求項（抜粋）：
それぞれに位置合わせマークの付された一対の透明基板を所定の位置関係で重ね合わせて、該一対の透明基板同士を位置合わせする透明基板の位置合わせ方法において、前記一対の透明基板を重ね合わせる前に、そのうちの何れか一方の透明基板に付された前記位置合わせマークの画像を認識する第1のマーク認識工程と、前記一対の透明基板を重ね合わせた後、当該重ね合わされた一対の透明基板の重なり合った前記位置合わせマークの画像を認識する第2のマーク認識工程と、前記第2のマーク認識工程で認識した画像から前記第1のマーク認識工程で認識した画像を減算して後から重ね合わせた透明基板に付された位置合わせマークの画像を認識する第3のマーク認識工程と、前記第1のマーク認識工程で認識したマークと前記第3のマーク認識工程で認識したマークの相対位置を認識する相対位置認識工程と、前記相対位置認識工程の認識結果から前記一対の透明基板のうち少なくとも何れか一方を移動させることにより位置合わせを行う位置合わせ工程と、を有することを特徴とする透明基板の位置合わせ方法。
IPC (2件)：
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