特許
J-GLOBAL ID：200903059596646433
平坦なディスク形状サセプタを有するエピタキシャル誘導反応器における自己水平化真空システムにより基板を取り扱うための装置及びその操作方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-599065
公開番号（公開出願番号）：特表2002-536201
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2002年10月29日
要約：
【要約】基板への化学蒸着(CVD)のめのエピタキシャル装置又は反応器において使用される基板を取り扱うための装置は、処理されるべき半導体スライス(24)を含むカセット(38、40)からそれらを移送するために、半導体スライス(24)の形態にある基板をつかみそして輸送するための手段(60)を備えた内部ロボット(30)を具備し、該つかみ及び輸送手段(60)は、正確には、パージング室(34)に存在しそして該スライス(24)の貯蔵のためにカセット(38)から供給されるスライス(24)を、パージング室(34)からエピタキシャル反応器(20)の反応室(22)に、そして更に特定的にはエピタキシャル反応器(20)の反応室(22)に存在する平坦なディスク形状サセプタ(26)上に形成された座(28a-e)に及び逆に反応室(22)から再びパージング室(34)を通ってカセット(38、40)に輸送する仕事を有する。
請求項（抜粋）：
反応室(22)と、 半導体材料の基板又はスライス(24)を取り扱うための内部ロボット(30)と、 スライス(24)を清浄化雰囲気に通すためのパージング室(34)と、 半導体材料のスライス(24)を積み重ねられた配列で収容するカセット(38、40)を含む貯蔵ゾーン(36)と、 スライス(24)を貯蔵ゾーン(36)から内部ロボット(30)に輸送するための外部ロボット(32)とを具備し、 内部ロボット(30)はつかみ手段(60)をその外側端部に有する関節で接合されたアーム(58)を収容するシールされた室(56)を含んでなる、半導体材料のスライスの如きエピタキシャル装置又は反応器において製造される材料の基板を取り扱うための装置において、 内部ロボット(30)のつかみ手段(60)は少なくとも1つのアーム(64)を具備し、該アームは反応室(22)に挿入することができ、そして半導体材料のスライス(24)をパージング室(34)から取り出しそしてそれをシールされた室(56)に通した後反応室(22)のディスク形状サセプタ(26)のキャビテイ(28)内に置かれるように輸送しそして逆にキャビテイ(28)からパージング室(34)に輸送するためのつかみ用具又は手(70)で終わっており、手(70)は周ゾーン又は面取りされた縁(25)に沿ってスライス(24)に接触し、そして該手は真空効果によりスライス(24)をつかみそしてそれをディスク形状サセプタ(26)上に置き、その際最初は一側で対応するキャビテイ(28)に接触し、次いでそれと完全に接触し、そして逆にスライス(24)を反応室(22)からパージング室(34)に輸送する場合には、スライス(24)を真空効果によってつかみ、それをサセプタ(26)のキャビテイ(28)から取り外し、その際最初に一側でそれを上昇させ次いでそれを完全に取り外し、そして最後にそれをパージング室(34)に入れられた支持ディスク(54)の上に置くようになっている、ことを特徴とする装置。
IPC (6件)：
B25J 15/06
, B25J 9/10
, B25J 17/02
, C30B 25/02
, H01L 21/205
, H01L 21/68
B25J 15/06 N
, B25J 9/10 A
, B25J 17/02 A
, C30B 25/02 P
, H01L 21/205
, H01L 21/68 B
3C007AS03
, 3C007AS24
, 3C007BS15
, 3C007BT05
, 3C007DS01
, 3C007FS01
, 3C007FT12
, 3C007KS20
, 3C007KS36
, 3C007KV11
, 3C007LT06
, 3C007LT11
, 3C007NS09
, 3C007NS13
, 4G077AA03
, 4G077DB01
, 4G077EG13
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031FA18
, 5F031GA02
, 5F031GA08
, 5F031GA15
, 5F031GA45
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031HA01
, 5F031KA10
, 5F031MA28
, 5F031PA04
, 5F045AA03
, 5F045AC03
, 5F045BB10
, 5F045DP15
, 5F045EB02
, 5F045EB08
, 5F045EN04
, 5F045EN06
審査官引用 (2件)
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特開昭63-065640
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特開昭63-065640
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