特許

J-GLOBAL ID：200903059599468536

ウェーハカセット授受装置

発明者： 山本 哲夫 ,  開発 秀樹 ,  池田 和人 ,  狩野 利一
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-235793
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066267
出願日： 1993年08月27日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】半導体製造装置と外部搬送装置間のウェーハカセットの授受を効率よく行える様にする。【構成】カセットストッカ2と外部搬送装置17との間でウェーハカセット13を授受するウェーハカセット授受装置に於いて、ウェーハカセットをカセットストッカに装入するカセットローダ1とウェーハ外部搬送装置との間に設けられウェーハカセットを反転台板30に前後に2個受載可能とすると共に該反転台板に保持可能とし、該反転台板を水平状態から前後に回転可能とし、反転台板にウェーハカセットを受載させる場合、手前側は反転台板を水平状態にして受載し、奥側は反転台板を鉛直状態として保持させ、又反転台板からウェーハカセットを受取る場合、手前側は反転台板を水平状態にして受取り、奥側は反転台板を鉛直状態として受取り、1つの反転台板により前後2個のウェーハカセットの授受を行う。

請求項（抜粋）：

カセットストッカと外部搬送装置との間でウェーハカセットを授受するウェーハカセット授受装置に於いて、ウェーハカセットをカセットストッカに装入するカセットローダとウェーハ外部搬送装置との間に設けられ、ウェーハカセットを反転台板に前後に2個受載可能とすると共に該反転台板に保持可能とし、該反転台板を水平状態から前後に回転可能としたことを特徴とするウェーハカセット授受装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/22 511

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-171716
  
• 特開昭64-059828
  
• 特開平4-171716
  
• 特開昭64-059828