特許
J-GLOBAL ID：200903059607828920
顕微鏡用のオートフォーカス装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005289
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258483
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 高い合焦精度を確保し、かつ、信頼性の高い顕微鏡用のオートフォーカス装置を提供する。【解決手段】 標本Sを載置するステージ1と、このステージ1に載置する標本Sと対峙させる対物レンズ6と、ステージ駆動装置13と、対物レンズ6を介して標本像を結像させる結像光学系と、結像光学系の結像点に関して共役な前方位置及び後方位置に光路差をつける光路差光学系と、光路差光学系を介して標本像を撮像する撮像素子11と、この撮像素子11による撮像情報を基に標本Sの合焦度を求めて前記ステージ駆動装置13を動作させ、ステージ1に載置する標本Sを合焦位置へ導くCPU12とを有する顕微鏡用のオートフォーカス装置において、標本Sのサーチモード、ラフピント位置へ合わせ込むラフフォーカスモード、標本Sのラフピント位置に対する前後ピント位置の合焦度を求める前後デフォーカス検出モード及び直線近似によるファインフォーカスモードを採用したものである。
請求項（抜粋）：
観察体を載置する載置手段と、この載置手段に載置する観察体と対峙させる対物レンズと、前記載置手段と対物レンズとの少なくとも一方を駆動する駆動手段と、前記対物レンズを介して観察体像を結像させる結像光学系と、前記結像光学系の結像点に関して共役な前方位置及び後方位置に光路差をつける光路差光学系と、前記光路差光学系を介して観察体像を撮像する撮像手段と、この撮像手段による撮像情報を基に観察体の合焦度を求めて前記駆動手段を動作させ、載置手段に載置する観察体を合焦位置へ導く制御手段と、を有する顕微鏡用のオートフォーカス装置において、前記制御手段は、観察体をサーチする観察体サーチモードと、観察体を低合焦精度でラフピント位置へ合わせ込むラフフォーカスモードと、このラフフォーカスモードにより合わせたラフピント位置に対して、少なくとも前後2箇所の観察体の前後合焦度を求める前後デフォーカス検出モードと、この前後デフォーカス検出モードにより求めた少なくとも前後合焦度から観察体の高合焦精度の合焦度を直線近似し、観察体をピント位置へ合わせ込むファインフォーカスモードと、の4モードのオートフォーカス制御モードを具備したことを特徴とする顕微鏡用のオートフォーカス装置。
IPC (3件)：
G02B 7/28
, G02B 7/36
, G02B 21/26
G02B 7/11 J
, G02B 21/26
, G02B 7/11 D
