特許

J-GLOBAL ID：200903059609318155

走査露光装置および方法

発明者： 海老沼 隆一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-272886
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097989
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 走査露光装置において、原版と基板の同期走査制御に悪影響を与えない。またマスキング手段のステージストロークを小さくする。【解決手段】 原版のパターンの一部を投影光学系を介してスリット状に基板に投影し、該投影光学系の光軸に対し垂直に前記原版と基板を共に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する走査型の露光装置において、前記スリット状光束による露光を制限するマスキング手段を前記原版面と共役な面に設け、かつ、該マスキング手段を前記原版および基板の走査方向に走査移動させるが、該マスキング手段の走査移動を開始するための加速は露光開始前に終了し前記走査移動を終了させるための減速は露光終了後に開始する駆動手段を設ける。

請求項（抜粋）：

原版のパターンの一部を投影光学系を介してスリット状に基板に投影し、該投影光学系の光軸に対し垂直に前記原版と基板を共に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する走査型の露光装置において、前記原版面と共役な面に設けられて前記スリット状光束による露光を制限するマスキング手段と、該マスキング手段を前記原版および基板の走査方向に走査移動させる駆動手段とを有し、該駆動手段は、該マスキング手段の走査移動を開始するための加速は露光開始前に終了し前記走査移動を終了させるための減速は露光終了後に開始することを特徴とする走査露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 C ,  H01L 21/30 516 D