特許

J-GLOBAL ID：200903059615050202

平板型マイクロレンズの製造方法

発明者： 浜中 賢二郎 ,  松田 厚範 ,  谷口 敏 ,  新井 大介 ,  岸本 隆 ,  平山 直人
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-191936
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039112
出願日： 1996年07月22日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 2枚のガラス基板にて挟まれる領域に、高屈折率樹脂材料からなるレンズ部と低屈折率樹脂材料とが積層された平板型マイクロレンズを効率よく製造する。【解決手段】 成形型となるガラス基板の表面に湿式エッチングにて多数の微小凹部を1次元または2次元的に形成し、マスクを介さずに再度湿式エッチングを行うことで、多数の微小凹部を稠密状とし、この表面に離型剤を塗布し、その上に光硬化性或いは熱硬化性の高屈折率樹脂材料を塗布し、この高屈折率樹脂材料の上に第1のガラス基板を重ね、高屈折率樹脂材料を展開せしめた後、高屈折率樹脂材料を硬化せしめ、硬化せしめた高屈折率樹脂材料と第1のガラス基板とを成形型となるガラス基板から剥離し、第1のガラス基板上の硬化した高屈折率樹脂材料層の上に低屈折率樹脂材料を塗布し、この低屈折率樹脂材料の上に第2のガラス基板を重ね、低屈折率樹脂材料を展開せしめた後、低屈折率樹脂材料を硬化せしめる。

請求項（抜粋）：

第1及び第2のガラス基板にて挟まれる領域に、高屈折率樹脂材料と低屈折率樹脂材料とが積層され、これら2種類の樹脂材料の境界面は微小球面または微小円筒面が1次元または2次元的に配列された平板型マイクロレンズの製造方法であって、この製造方法は以下の第1工程〜第6工程からなることを特徴とする平板型マイクロレンズの製造方法。(第1工程)成形型となるガラス基板の表面にマスクを介して湿式エッチングを行うことで、球面状または円筒面状をなす多数の微小凹部を1次元または2次元的にガラス基板の表面に形成する工程。(第2工程)第1工程で微小凹部が形成された成形型となるガラス基板の表面にマスクを介さずに再度湿式エッチングを行うことで、多数の微小凹部を稠密状に配列せしめる工程。(第3工程)第2工程で形成された稠密状に配列された微小凹部を有する成形型となるガラス基板の表面に離型剤を塗布し、その上に光硬化性或いは熱硬化性の高屈折率樹脂材料を塗布する工程。(第4工程)第3工程で塗布した高屈折率樹脂材料の上に第1のガラス基板を重ね、高屈折率樹脂材料を展開せしめた後、高屈折率樹脂材料を硬化せしめる工程。(第5工程)第4工程で硬化せしめた高屈折率樹脂材料と第1のガラス基板とを成形型となるガラス基板から剥離し、第1のガラス基板上の硬化した高屈折率樹脂材料層の上に低屈折率樹脂材料を塗布する工程。(第6工程)第5工程で塗布した低屈折率樹脂材料の上に第2のガラス基板を重ね、低屈折率樹脂材料を展開せしめた後、低屈折率樹脂材料を硬化せしめる工程。

IPC (6件)：

G02B 3/00 ,  B29D 11/00 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 17/10 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 530

FI (6件)：

G02B 3/00 A ,  B29D 11/00 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 17/10 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 530

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 平板型レンズアレイ及びそれを用いた光学表示パネル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-110992   出願人：日本板硝子株式会社
• 平板状レンズアレイおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-030384   出願人：日本板硝子株式会社
• 平板型レンズアレイおよびその製造方法/平板型レンズアレイを用いた液晶表示素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-068249   出願人：日本板硝子株式会社
• マイクロレンズ基板及びそれを用いた液晶表示素子ならびに液晶プロジェクタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-306650   出願人：シャープ株式会社, オムロン株式会社