特許
J-GLOBAL ID：200903059619216067
低真空雰囲気型走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-191772
公開番号（公開出願番号）：特開平10-040850
出願日： 1996年07月22日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】低真空雰囲気での観察で、電子銃室を高真空に保ったまま、オリフィス径を大きくしビーム電流を大きくする。もしくは従来と同じオリフィス径とそれを有する排気系の場合、低真空雰囲気での観察で、より高い試料室圧力での観察を可能にする、または電子銃フィラメントの寿命を長くする。【解決手段】対物レンズ7と収束レンズ4,5の間に中間室8を設け、中間室8を排気する配管を電子銃部2からの主配管と別に設けて排気ポンプ22の引口の近くで接続する低真空雰囲気型走査電子顕微鏡。
請求項（抜粋）：
対物レンズと収束レンズの間に中間室を設け、上記中間室を排気する配管を電子銃部からの主配管と別に設けて排気ポンプ引口の近くで接続するように構成したことを特徴とする低真空雰囲気型走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/28 Z
, H01J 37/18
