特許
J-GLOBAL ID：200903059621922483
カラーフィルタの残査除去方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044430
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241010
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】着色層形成用感材の残査を確実に除去すると共にその再付着を防止する。【構成】着色層形成用感材を基板に塗布した後、露光および現像して形成されるカラーフィルタの製造において、基板1の搬送方向に直角に配設される液貯留部20に、高圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部20内に気泡を発生させ、液貯留部20と基板1との隙間から流出させ、気泡の破裂と液の流速により基板1上に残留する着色層形成用感材の残査を除去する。
請求項（抜粋）：
着色層形成用感材を基板に塗布した後、露光および現像して形成されるカラーフィルタの製造において、基板の搬送方向に直角に配設される液貯留部に、高圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部内に気泡を発生させ、これを液貯留部と基板との隙間から流出させ、気泡の破裂と液の流速により基板上に残留する着色層形成用感材の残査を除去することを特徴とするカラーフィルタの残査除去方法。
引用特許：
前のページに戻る
