特許

J-GLOBAL ID：200903059625068770

熱式空気流量素子および熱式空気流量計

発明者： 山田 雅通 ,  堀江 潤一 ,  渡辺 泉 ,  中田 圭一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立カーエンジニアリング
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-375367
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172646
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】低コストで、汚損の影響を受けることなく、応答性が高く、且つ精度を向上した熱式空気流量センサを提供すること。【解決手段】空洞部9を有する半導体基板2と、この基板上に電気絶縁膜8aを介して形成された発熱抵抗体4と、この発熱抵抗体の上に形成された保護膜8bとを有する熱式空気流量素子の上記保護膜8bの上面に、少なくとも上記空洞部の領域を覆うように暗所において触媒作用を有する触媒薄膜5を形成する。

請求項（抜粋）：

空洞部を有する半導体基板と、前記基板の前記空洞部領域上に電気絶縁膜を介して形成された発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体の上に形成された保護膜とを有する熱式空気流量素子において、前記保護膜の上面に、少なくとも前記発熱抵抗体を覆うように触媒作用を有する触媒薄膜を形成したことを特徴とする熱式空気流量素子。

IPC (3件)：

G01F 1/692 ,  F02D 35/00 ,  G01F 1/68

FI (4件)：

G01F 1/68 A ,  G01F 1/68 104 B ,  F02D 35/00 366 N ,  F02D 35/00 366 E

Fターム (2件)：

2F035AA02 ,  2F035EA08