特許

J-GLOBAL ID：200903059626046282

インクジェット式記録ヘッド

発明者： 金井 史幸 ,  古田 達雄 ,  小林 淳 ,  細川 比呂志 ,  酒井 真理
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 木村 勝彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-291187
公開番号（公開出願番号）：特開平7-096605
出願日： 1993年10月27日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 珪素の結晶性基板をエッチングしてスペーサを構成したインクジェット式プリンタのスペーサを形成すること。【構成】 ノズル開口2aを有するノズルプレート2と、圧力発生室、インク供給口、及びリザーバを区画する隔壁を備えたスペーサ1と、板部材3とをサンドイッチ状に固定し、板部材3を圧電振動子4により変位させてインク滴を発生させるインクジェット式記録ヘッドであって、スペーサ1は、シリコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより圧力発生室、インク供給口、及びリザーバが互い連通する貫通孔1a、1b、1cとして形成する。このため、各貫通孔に対するエッチング条件が同一となり、特に圧力発生室、インク供給口のように断面積が小さな貫通孔1a、1bを高い精度で形成できる。

請求項（抜粋）：

インク滴を噴射するノズル開口を備えたノズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、及びリザーバを区画する隔壁を備えたスペーサと、前記ノズルプートに対向して前記スペーサの他面に固定される板部材とをサンドイッチ状に固定するとともに、前記圧力発生室にインク滴を形成するのに適した圧力変化を与える圧力発生手段とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記スペーサは、珪素の結晶性基板または酸化珪素の結晶性基板を両面からエッチングすることにより前記圧力発生室、インク供給口、及びリザーバが互いに連通する貫通孔として構成され、前記圧力発生室及びインク供給口を区画する隔壁がノズル開口側で本体に接続され、また前記リザーバ側が自由端となる片持梁状に形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (2件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-286651
  
• 特開平3-253346
  
• 特開昭54-150127
  

審査官引用 (3件)

• 特開平4-286651
  
• 特開平3-253346
  
• 特開昭54-150127