特許
J-GLOBAL ID:200903059627757689

レーザビーム式表面検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 春日 讓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-210767
公開番号(公開出願番号):特開平10-054880
出願日: 1996年08月09日
公開日(公表日): 1998年02月24日
要約:
【要約】【課題】個々のワーク表面の反射率の違いによる検出誤差をなくし、ワークの材料の有無を高精度に検出することが可能なレーザビーム式表面検出装置を提供することである。【解決手段】レーザビーム1aのワークからの反射ビーム1bを基にした信号を基にワークの反射面を検出するに際し、まず、校正用ワーク5による反射ビーム1bに基づいてLDドライバ7からの出力を切り換えておく。この時の校正用ワーク5としては、反射面5aのレーザビーム1aに対する反射率が加工すべきワークと同一であるものを用いる。
請求項(抜粋):
レーザビームを出力するレーザビーム出力手段と、前記レーザビームをワークに照射する光学系と、前記ワークからの前記レーザビームの反射ビームを入力しそれに対応した電気信号を出力するビーム検出手段と、前記ビーム検出手段からの電気信号に基づいて前記ワークの材料の有無を検出する制御手段とを有するレーザビーム式表面検出装置において、前記レーザビームに対し前記ワークと同一の反射率を有する反射面を備え前記ワークと同位置に設置される校正用ワークと、前記ビーム検出手段からの電気信号の出力値を所定値と比較し、前記校正用ワークからの反射ビームに基づく電気信号の出力値を前記所定値に補正するための補正値を算出する出力調整手段と、前記出力調整手段で演算した補正値に基づき前記レーザビーム出力手段の出力を切り換える出力切換手段とを有することを特徴とするレーザビーム式表面検出装置。
IPC (2件):
G01V 8/12 ,  B23Q 17/24
FI (2件):
G01V 9/04 A ,  B23Q 17/24 C

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