半導体圧力センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059576
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250964
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成により腐食性を有する気体や導電性を有する液体の圧力を高精度で検出することができる小型で安価な半導体圧力センサを提供する。【解決手段】センサチップ1がガラス台座2に固定され、さらに器体3に取り付けられている。器体3は筒状の圧力導入管3bを備え、その内部にシリコンオイル4が充填されている。圧力導入管3bの先端部には圧力導入孔7cを有するポールピース7が取り付けられ、さらにその内側には永久磁石6が挿入されている。また、圧力導入孔7cの内部に磁性流体が注入されて磁性流体層5が形成されている。而して、圧力導入孔7c内に配設された磁性流体層5を介して、被圧力検出流体Pの圧力がシリコンオイル4に伝達され、さらにセンサチップ1に伝達される。なお、永久磁石6の磁気力により、磁気流体層5がほぼ所定の位置に保持されるため、圧力導入孔7cより外に漏れ出すことはない。

請求項（抜粋）：

半導体基板を加工して薄膜のダイヤフラム部及び該ダイヤフラム部の圧力による歪みを検出する検出素子が形成されたセンサチップと、被圧力検出流体の圧力を前記ダイヤフラム部に伝達する液状の導圧媒体が充填された器体と、該器体の受圧部に配設され前記導圧媒体と被圧力検出流体を隔離する磁性流体層と、磁気力により前記磁性流体層を所定位置に保持する磁石とを備えたことを特徴とする半導体圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 19/00 , G01L 9/04 101

FI (2件)：

G01L 19/00 A , G01L 9/04 101

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