特許
J-GLOBAL ID：200903059634861076
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010481
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221837
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】簡単な構成で高精度の検査を行うことができる表面検査装置を得ること。【構成】検査対象物2のレーザ光走査面と集光レンズ8との間のレーザ光路上に、音響光学素子4を設ける。
請求項（抜粋）：
光走査装置から照射されたレーザ光を検査対象物の表面に走査し、この検査対象物の表面で反射されたレーザ光を集光レンズで集光し光電変換器に入射する表面検査装置において、前記検査対象物と前記集光レンズの間に音響光学偏光器を介在させたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
