特許
J-GLOBAL ID：200903059643727129
X線検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169866
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004559
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 新規構成で試料映像の拡大、縮小を実施する。【解決手段】 コントローラ7により電子ビーム偏向手段8を制御し当該電子ビーム偏向手段8により、ターゲット11に向かう電子45をX線出射窓9aに対して接離する第1方向Aに偏向し電子45のターゲット11での衝突位置を第1方向Aに移動して当該衝突位置と試料1、X線撮像装置4との間のX線路長を変えることで、X線撮像装置4の出力として試料1の拡大、縮小映像を得るのを可能とすると共に、コントローラ7により、試料1を保持する試料保持移動手段3を制御し当該試料保持移動手段3により、試料1を、電子45を第1方向Aに偏向した時のX線50の移動方向たる第2方向Bに該電子45の偏向に対応した量に応じて移動し、試料1の同一位置をX線50で照射可能としてX線撮像装置4の出力として試料1の同一位置を含む拡大、縮小映像を得る。
請求項（抜粋）：
入射する電子ビームとX線出射窓の各々に対して斜めに形成されたターゲットを有し、前記電子ビームが前記ターゲットに衝突することでX線を発生しこのX線を前記X線出射窓を介して出射するX線源と、前記ターゲットに向かう前記電子ビームを、少なくとも当該電子ビームを含む面内で前記X線出射窓に対して接離する第1方向に偏向可能とする電子ビーム偏向手段と、前記X線出射窓を介して出射されたX線により透視される試料を保持すると共に、当該試料を、少なくとも前記電子ビームが前記第1方向に偏向された時の前記X線の移動方向となる第2方向に移動可能とする試料保持移動手段と、前記試料を透過するX線を撮像するX線撮像装置と、前記電子ビーム偏向手段を制御して前記電子ビームを前記第1方向に偏向させると共に、前記試料保持移動手段を制御して前記電子ビームの前記第1方向への偏向に対応した量に応じて前記試料を前記第2方向に移動させるコントローラと、を具備したX線検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (25件)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001FA06
, 2G001GA05
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA06
, 2G001JA11
, 2G001JA20
, 2G001PA11
, 2G001PA14
, 4C092AA01
, 4C092AB11
, 4C092AB30
, 4C092AC08
, 4C092AC16
, 4C092BD16
, 4C092CD02
, 4C092CE07
, 4C092CJ21
, 4C092DD03
