特許
J-GLOBAL ID：200903059644954412
硬脆材料用の表面精密研磨剤
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 小平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-156791
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001279
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 タンタル酸リチウムのような硬脆材料の表面研磨を高能率で行なうことができる表面精密研磨剤を提供する。【構成】 沈殿法により製造された微粒子状二酸化ケイ素であって、BET比表面積が10〜60m2 /gであり、コールターカウンター法で測定した時の二次粒子の平均粒子径が0.5〜5μmである微粒子状二酸化ケイ素の水性スラリー分散液を研磨剤とする。
請求項（抜粋）：
沈澱法により製造されたBET比表面積が10〜60m2/g、コールターカウンター法で測定した時の二次粒子の平均粒子径が0.5〜5μmの微粒状二酸化ケイ素の水を媒体としたスラリー分散液であることを特徴とする硬脆材料用の表面精密研磨剤。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特公昭54-004919
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特公昭61-016732
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