特許

J-GLOBAL ID：200903059649753245

ビームスプリッター

発明者： 原 仁
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-373587
公開番号（公開出願番号）：特開2004-205726
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】分割比可変のビームスプリッターを実現すること。【解決手段】入力光を2分割して出力するビームスプリッターにおいて、第一固定鏡と、この第一固定鏡に所定の第一ギャップを隔てて一方の面が対向配置される可動鏡と、この可動鏡の他方の面に所定の第二ギャップを隔てて対向配置される第二固定鏡と、前記第一固定鏡の前記可動鏡に対向しない面に形成される第一反射防止手段と、前記第二固定鏡の前記可動鏡に対向しない面に形成される第二反射防止手段、とを有し、前記可動鏡を前記第一固定鏡または前記第二固定鏡の方向に変位させることにより前記第一ギャップ及び前記第二ギャップの大きさを可変とし、前記第一固定鏡または前記第二固定鏡の一方に入力する入力光を反射光と他方からの透過光に前記第一ギャップ及び前記第二ギャップの大きさの差に対応した任意所望の分割比で2分割して出力光として出力するファブリペローフィルタを具備することを特徴とするビームスプリッター。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

入力光を2分割して出力するビームスプリッターにおいて、第一固定鏡と、この第一固定鏡に所定の第一ギャップを隔てて一方の面が対向配置される可動鏡と、この可動鏡の他方の面に所定の第二ギャップを隔てて対向配置される第二固定鏡と、前記第一固定鏡の前記可動鏡に対向しない面に形成される第一反射防止手段と、前記第二固定鏡の前記可動鏡に対向しない面に形成される第二反射防止手段、とを有し、前記可動鏡を前記第一固定鏡または前記第二固定鏡の方向に変位させることにより前記第一ギャップ及び前記第二ギャップの大きさを可変とし、前記第一固定鏡または前記第二固定鏡の一方に入力する入力光を反射光と他方からの透過光に前記第一ギャップ及び前記第二ギャップの大きさの差に対応した任意所望の分割比で2分割して出力光として出力するファブリペローフィルタを具備することを特徴とするビームスプリッター。

IPC (3件)：

G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G02B5/28

FI (3件)：

G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G02B5/28

Fターム (9件)：

2H041AA21 ,  2H041AB10 ,  2H041AB12 ,  2H041AB38 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08 ,  2H048GA07 ,  2H048GA32 ,  2H048GA62