特許

J-GLOBAL ID：200903059659356570

パターン検査装置

発明者： 秀島 昌行 ,  土屋 英雄 ,  渡辺 利之 ,  高梨 正雄
出願人/特許権者： 株式会社トプコン ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-010050
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198641
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 コーナの丸まりに起因する疑似欠陥の発生を防止することができ、且つコーナ付近に存在する本来の欠陥を確実に検出することができ、パターン検査精度の向上をはかり得るパターン検査装置を提供すること。【構成】 設計データを展開して得た基準データに対しコーナ丸め処理を行い、基準データと検査データを比較して検査パターンの欠陥を検出するパターン検査装置において、丸め処理する機構として、基準データCのコーナ部を検出するコーナ検出回路31と、検出したコーナ形状に応じたマスキングデータJを発生するデータ発生回路32と、検出したコーナ部を含む図形データとこれに対応するマスキングデータJを排他的論理和処理により合成する図形合成回路37と、不適当な過剰丸めを検出する過剰丸め検出回路34〜36と、この回路34〜36の検出結果に応じてマスキングデータJを変更するデータ変更回路33とから構成した。

請求項（抜粋）：

検査対象パターンに対応する設計パターンのデータをビットに展開するビット展開手段と、このビット展開手段によりビット展開して得られた基準パターンデータのコーナ部分を選択してコーナの丸め処理を行うコーナ丸め手段と、前記基準パターンデータに基づきパターンの特徴を抽出する特徴抽出手段と、前記抽出された特徴に基づき丸め処理された基準パターンデータと検査対象パターンから得られた検査パターンデータとを比較する比較手段とを具備し、前記コーナ丸め手段は、前記基準パターンデータに対してコーナパターン検出ウインドを走査してコーナパターンを検出するコーナパターン検出回路と、このコーナパターン検出回路により検出されたコーナパターンに応じたマスキングパターンデータを発生するマスキングパターンデータ発生回路と、前記基準パターンデータの中で前記検出されたコーナパターンを含む図形パターンデータとこれに対応するそれぞれのマスキングパターンデータとを排他的論理和処理によって合成処理して、基準パターンデータにおけるコーナ部を丸める図形合成回路と、複数の近接したコーナに対してコーナ丸めを行った場合に発生する不適当な過剰丸めを、前記基準パターンデータとこれに対応するマスキングパターンデータとを走査することで検出する過剰丸め検出回路と、この過剰丸め検出回路の検出結果に応じてマスキングパターンを変更するマスキングパターン変更回路と、から構成されてなることを特徴とするパターン検査装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  G06F 15/60 370 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/82

FI (3件)：

H01L 21/30 301 V ,  H01L 21/30 341 K ,  H01L 21/82 C