特許
J-GLOBAL ID:200903059665473961
ディスク成形金型及びディスク成形方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
吉田 精孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-039072
公開番号(公開出願番号):特開平6-246787
出願日: 1993年02月26日
公開日(公表日): 1994年09月06日
要約:
【要約】【目的】 成形歪及びクラウド発生を防止してディスク成形を良好に行えるディスク成形金型とディスク成形方法を提供すること。【構成】 スタンパ3を支持する可動側型板2にスタンパ3の内周部と外周部に夫々至る吸引通路2b,2cを形成し、該吸引通路2b,2cにバルブ6を介して真空ポンプ7を接続してあるので、吸引通路2b,2cを通じスタンパ3の内周部と外周部の夫々を可動側型板2側に吸引することで、スタンパ3を可動側型板2の上面に密着させ平滑度を持たせることができ、これによりスタンパ3の熱伝導率を均一にしてディスク基板Sを歪なく成形することが可能となり、またエアーギャップを原因としたディスク基板Sのスタンパからの部分剥離を防止してクラウド発生を無くすることができる。
請求項(抜粋):
型板の一方に配置された環状スタンパの内・外周部を内周リングと外周リングで支持して成るディスク成形金型において、スタンパを支持する型板にスタンパの内周部と外周部に夫々至る吸引通路を形成し、該吸引通路にバルブを介して吸引手段を接続した、ことを特徴とするディスク成形金型。
IPC (2件):
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