特許
J-GLOBAL ID：200903059675785520
真空ゲートバルブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-007694
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218237
出願日： 1998年01月19日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 従来の真空ゲートバルブは、真空容器に対して弁箱が独立していたため、真空ゲートバルブが取付けられる大きさや方向が制限され、全体形状が大形化していた。【解決手段】 本発明による真空ゲートバルブは、真空ゲートバルブを構成する弁箱(5)を真空容器(6)の開口部(7)を含む外壁(8)に直接接続し、真空容器(6)の外壁(8)を弁箱(5)の一部とすることによって、ゲートバルブを小型にして隣接する他の部品や装置の取り付け空間を広くする構成である。
請求項（抜粋）：
真空容器(6)に接続された弁箱(5)内にシールプレート(1)を有する弁体(2)を有し、前記弁箱(5)に前記弁体(2)を駆動させる駆動軸(3)を有する駆動部(4)を備えた真空ゲートバルブにおいて、前記真空容器(6)の開口部(7)を含む外壁(8)を前記弁箱(5)の一部とした構成よりなることを特徴とする真空ゲートバルブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16K 3/00 C
, F16K 3/02 D
