特許
J-GLOBAL ID：200903059678028436
インクジェット式記録ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 勝彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-272948
公開番号（公開出願番号）：特開平10-095113
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 マスクパターンの精度と同程度の精度により外形を形成し、かつリザーバでの気泡の停滞を少なくすること。【解決手段】 流路形成基板が格子面(110)の面方位のシリコン単結晶基板を異方性エッチングして、その外周の辺2〜5がシリコン単結晶基板の表面に対して垂直な2つの結晶方位<111>面に平行に、また圧力発生室6はその長手方向の壁が外周の辺に形成され、さらにリザーバ12はその2つの辺12a,12bが流路形成基板の辺2〜5に平行に形成されていて、リザーバ12をほぼ三角形状としてリザーバ内でのインクの淀みを少なくして気泡の排除性を高める。
請求項（抜粋）：
複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、外部からインクの供給を受けるリザーバ、該リザーバとインク供給口を介して接続するとともに前記ノズル開口の各々に連通する複数の圧力発生室とを備えた流路形成基板と、該流路形成基板の他方の面を封止する弾性板と、前記圧力発生室を加圧する加圧手段とからなるインクジェットヘッドにおいて、前記流路形成基板が格子面(110)の面方位のシリコン単結晶基板を異方性エッチングして、その外周の辺がシリコン単結晶基板の表面に対して垂直な2つの結晶方位<111>面に平行な面を持つように形成され、また前記圧力発生室はその長手方向の壁が前記外周の辺に平行に形成され、さらに前記リザーバはその2つの壁が前記流路形成基板の外周に平行に形成されているインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
